日本Fujikura藤倉無塵室對應超精密減壓閥RR-8-2-KA
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利用-減壓閥的外部先導壓力,進行出口壓力可變設定的空氣壓力操作的減壓閥.
壓力(li)控(kong)制方式是(shi)因為(wei)采用滾動膜片與計(ji)量膜合的伺服平衡方式,可以實現無(wu)塵室對(dui)應的精密的壓力(li)調(diao)整的減壓閥.
無塵規格
因為部品是不銹鋼及氟橡膠,-的部品全(quan)部為非(fei)電(dian)解鍍鎳處理(li),產生的雜(za)質(zhi)非(fei)常(chang)少.
歧管安裝對應
歧管連接配管可能.
排氣口裝備
因為排(pai)(pai)(pai)氣孔(kong),溢流(liu)孔(kong),可以(yi)連接(jie)排(pai)(pai)(pai)氣用配管;排(pai)(pai)(pai)氣空氣及溢流(liu)空氣都(dou)可以(yi)排(pai)(pai)(pai)到(dao)無塵室以(yi)外.
高精度
可以實現感度(du)%.,反復再現性±%.的高(gao)精度(du)控(kong)制.
| RR-8 | |
| 使用流體 | 清潔壓縮空氣 |
| 壓力設定范圍 (MPa) | ～ |
| 進口壓力設定范圍 (MPa) | 1. Max. |
| 排氣的有無 | 有 |
| 反復再現性 (%.) | ±以內 |
| 感度 (%.) | 以內 |
| 空氣消費量 (Nl/min) | 以內 |
| 使用溫度范圍 (℃) | 5～60 |
| 配管連接口徑 | Rc 1/4、歧管型 |
| 壓力表連接口徑 (Rc) | 1/4 |
| 支架 | 標準配置(歧管型以外) |
| 質量 (kg) |
