半導體行業超純水系統介紹:
概述:半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需要大量的純水,高純水,超純水清洗半成品,成品,集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高,目前電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以區分不同水質.
半導體行業超純水設備工藝流程:
1.、原水箱→原水泵→多介質過濾→軟化過濾器→精密過濾器→一級增壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級增壓泵→二級反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設備→超純水箱→輸送泵→使用點 (≥15MΩ.CM)
2.原水箱→原水泵→多介質過濾→軟化過濾→精密過濾器→一級增壓泵→一級反滲透→PH調節→中間水箱→二級增壓泵→二級反滲透→純化水箱→EDI輸送泵→EDI設備→超純水箱→供水水泵→紫外線殺菌→拋光樹脂→μm過濾→使用點 (≥18MΩ.CM)
應用領域:
1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水
2. 超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水
4. 光電子產品
5. 光學鏡片,鏡頭清洗超純水設備
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