羅茨泵(roots-type pump) 是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相(xiang)似。由于(yu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子的(de)不(bu)斷旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan),被抽氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)從進氣(qi)(qi)口(kou)吸入到轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子與(yu)泵殼之間(jian)的(de)空(kong)間(jian)v0內,再(zai)經排氣(qi)(qi)口(kou)排出(chu)。由于(yu)吸氣(qi)(qi)后v0空(kong)間(jian)是(shi)全封閉狀態,所以,在(zai)泵腔(qiang)內氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)沒有(you)壓縮(suo)和膨脹。 但當(dang)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子頂部(bu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)過排氣(qi)(qi)口(kou)邊緣,v0空(kong)間(jian)與(yu)排氣(qi)(qi)側相(xiang)通時,由于(yu)排氣(qi)(qi)側氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)壓強較高,則有(you)一(yi)部(bu)分氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)返沖到空(kong)間(jian)v0中去,使氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)壓強突然(ran)增高。當(dang)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子繼續轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)動時,氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)排出(chu)泵外。羅茨泵在(zai)泵腔(qiang)內,有(you)二個“8”字形的(de)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子相(xiang)互(hu)垂直地安(an)裝在(zai)一(yi)對(dui)平行軸上(shang),由傳動比為(wei)1的(de)一(yi)對(dui)齒輪帶(dai)動作彼此反向的(de)同步旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運動。在(zai)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之間(jian),轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子與(yu)泵殼內壁之間(jian),保持有(you)一(yi)定的(de)間(jian)隙,可以實(shi)現高轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速運行。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相(xiang)似(si)。由于(yu)(yu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)(de)不(bu)斷旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan),被(bei)抽氣體(ti)從進氣口吸入(ru)到轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)與泵(beng)殼之間(jian)的(de)(de)空(kong)間(jian)v0內,再經排(pai)氣口排(pai)出。由于(yu)(yu)吸氣后v0空(kong)間(jian)是全封閉(bi)狀態,所(suo)以(yi)(yi),在泵(beng)腔(qiang)內氣體(ti)沒有壓縮和膨脹。 但(dan)當轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)頂部(bu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)過(guo)排(pai)氣口邊(bian)緣,v0空(kong)間(jian)與排(pai)氣側(ce)相(xiang)通時(shi),由于(yu)(yu)排(pai)氣側(ce)氣體(ti)壓強較高(gao),則有一部(bu)分氣體(ti)返(fan)沖(chong)到空(kong)間(jian)v0中(zhong)去,使(shi)氣體(ti)壓強突然增(zeng)高(gao)。當轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)繼續(xu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)動時(shi),氣體(ti)排(pai)出泵(beng)外。羅茨泵(beng)在泵(beng)腔(qiang)內,有二個(ge)“8”字形的(de)(de)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)相(xiang)互垂直地(di)安裝(zhuang)在一對平行(xing)(xing)軸上,由傳動比為(wei)1的(de)(de)一對齒輪(lun)帶(dai)動作彼此反向的(de)(de)同(tong)步旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)運動。在轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之間(jian),轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)與泵(beng)殼內壁之間(jian),保持(chi)有一定(ding)的(de)(de)間(jian)隙,可以(yi)(yi)實現高(gao)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)速運行(xing)(xing)。




